目前,掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證和認(rèn)可已有許多標(biāo)準(zhǔn)文件可供執(zhí)行,按分析測試的目的可有以下幾類,現(xiàn)分別列舉如下:
(1)常用的與掃描電鏡測長直接有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)有以下幾個:
根據(jù)計量器具的實(shí)際使用情況,本著科學(xué)、經(jīng)濟(jì)和量值準(zhǔn)確的原則確定非強(qiáng)檢計量器具檢定或校準(zhǔn)周期。應(yīng)注意的幾個方面:
● 微米級長度的掃描電鏡測量方法(GB/T16594-94)
● 金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法(GB/T 12334-2001)
● 納米級長度的掃描電鏡測量方法(國家標(biāo)準(zhǔn)討論稿)
(2)常用的與掃描電鏡檢定規(guī)程有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)有以下一些,主要用于掃描電鏡的檢定,包括分辯力的檢驗(yàn)和放大倍率的校驗(yàn)。
● 掃描電子顯微鏡試行檢定規(guī)程(JJG 550-88)
● 分析型掃描電子顯微鏡檢定規(guī)程(JJG 011—1996)
● 電子探針分析儀的檢測方法(GB/T 15075-94)
● 微束分析一掃描電鏡一圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則
(3)常用的與掃描電鏡分析測試應(yīng)用有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)有以下一些,其中,如山羊絨、綿羊毛及其混合纖維定量分析方法和沉積巖中自生粘土礦物掃描電子顯微鏡及X射線能譜鑒定方法等在實(shí)際使用中收到了良好的效果。
● 山羊絨、綿羊毛及其混合纖維定量分析方法(GB/T#14593-93)
● 黃金制品鍍層成分的X射線能譜測量方法(GB/T#17723-99)
● 沉積巖中自生粘土礦物掃描電子顯微鏡及X射線能譜鑒定方法(GB/T#17361-98)
● 黃金飾品的掃描電鏡X射線能譜分析方法(GB/T#17632-98)
(4)常用的與掃描電鏡分析間接有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)有:
嚴(yán)格來說,每個配X射線能譜儀的掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室,都應(yīng)在不同程度上掌握上述標(biāo)準(zhǔn),或應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行這些標(biāo)準(zhǔn)。